在現代光學元件制造、半導體晶圓加工以及先進薄膜研發中，反射率測量往往面臨諸多挑戰。特別是對于微小面積、復雜曲面或超薄樣品，傳統測量設備常因光斑過大、曲面失配或后表面反射干擾而導致數據失真。此外，針對超薄樣品的測量往往需要繁瑣的背面遮光處理（如磨砂或涂黑），不僅增加了工藝成本，還可能對樣品造成不可逆的損傷。針對這些行業痛點，日本知的名的光學儀器廠商澀谷光學（SHIBUYA OPTICAL CO.,LTD）推出了MSP-100系列反射率測量系統，以創新的光學設計和卓的越的性能，為小光斑、高精度、曲面及超薄樣品的無損檢測提供了理想的解決方案。

產品概述：全波段覆蓋的精密測量矩陣

MSP-100系列專為小面積、曲面樣品的高速高精度反射率測量而設計，將超薄樣品的測量成本降至之前所沒有的水平。為滿足不同波段的檢測需求，該系列提供三款專業型號，全面覆蓋紫外至近紅外波段：

• MSP-100B：測量波長范圍350–1100nm，專用于可見光波段的高精度檢測。

• MSP-100IR：測量波長范圍900–1700nm，針對近紅外波段優化，適用于紅外光學材料。

• MSP-100UV：測量波長范圍230–800nm，覆蓋紫外至可見光波段，滿足特殊材料的紫外特性分析。

核心技術亮點

專的利的半透鏡技術，免除背面遮光處理

MSP-100系列采用澀谷光學已獲專的利的特殊半透鏡設計，可有效削減樣品的后表面反射光。在測量過程中，背面光線不會進入檢測光路，這意味著用戶無需使用磨砂玻璃或黑色涂層對樣品背面進行遮光處理。配合20×物鏡，該系統可對厚度低至0.2mm的超薄板進行直接、無損的反射率測量，大幅簡化了前處理工序。

φ50μm微小光斑，精準鎖定微小區域

系統支持在樣品表面聚焦出直徑僅為50μm的微小光斑（使用10×物鏡時）。這一特性使其能夠精確測量微小區域的光學特性，避免了大光斑測量時因邊緣效應或局部缺陷導致的數據平均化問題，特別適合微小光學元件和局部鍍膜區域的檢測。

卓的越的曲面兼容性與高靈敏度傳感

MSP-100系列打破了傳統設備對平面樣品的限制，可兼容透鏡及各類曲面光學元件，適用樣品曲率半徑范圍寬廣（-1R到-∞，+1R到+∞），能夠準確測量鏡片曲率及鍍膜不規則性。在傳感器配置上，可見光與紫外波段配備高靈敏度背照式CCD傳感器，紅外波段采用InGaAs傳感器；結合512元線性PDA傳感器、內置16位A/D轉換器及USB 2.0接口，實現了高速數據處理。系統信噪比（S/N）高達1000:1（400–900nm），確保即使是低反射率樣品也能獲得快速、高重復性的測量結果。

智能化數據管理與色度分析

系統內置強的大的分析軟件，不僅支持光譜反射率測量，還可進行色度測量和Lab*色彩分析，通過分光光度法精準測定物體顏色。測量數據可一鍵保存為Microsoft Excel格式，并支持在同一屏幕上疊加顯示多個測量結果，便于工程師進行直觀的對比分析與品質管控。整個測量過程非接觸、無損，操作界面人性化，單次測量僅需數秒至數十秒。

技術規格一覽

典型應用場景

憑借上述核心技術優勢，MSP-100系列在多個高精尖領域展現出廣泛的應用價值：

• 光學薄膜檢測：單層/多層鍍膜反射率的精準測定，以及鍍膜均勻性與不規則性評估。

• 曲面光學元件：透鏡、鏡片等曲面元件的反射率與曲率同步測量。

• 超薄材料分析：厚度低至0.2mm的超薄玻璃、晶圓樣品的無損反射率測量。

• 品質管控與研發：材料表面反射率的快速篩選、色度測量與Lab*色彩分析。

該系統廣泛適用于光學元件制造、鍍膜檢測、玻璃加工、半導體晶圓、薄膜研發、材料科學及色度分析等行業，為工程師和科研人員提供了可靠的數據支撐。

總結與展望

澀谷光學MSP-100系列反射率測量系統以其專的利的半透鏡技術、微米級光斑分辨率和卓的越的曲面兼容性，重新定義了精密光學測量的標準。它不僅解決了超薄、微小、曲面樣品測量的行業難題，更通過免除背面處理工序，顯著降低了檢測成本與時間。隨著光學制造向更高精度、更微型化方向發展，MSP-100系列必將在先進材料研發與精密制造領域發揮更加關鍵的作用。

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