光罩Lift-off殘膠高效剝離：SONOSYS 400 kHz-2 MHz兆聲波換能器參數(shù)指南

更新時間：2026-08-13

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光罩Lift-off后殘膠殘留，是傳統(tǒng)清洗“清不干凈就加藥加時長，最終損傷精細(xì)線路"的共性痛點。SONOSYS 400kHz-2MHz全系列兆聲波換能器，以可控微空化效應(yīng)，實現(xiàn)高效剝膠+零微結(jié)構(gòu)損傷，已在全球超4500套半導(dǎo)體精密清洗產(chǎn)線落地。

核心參數(shù)速查表

頻率	功率	適配光罩	核心用途
400kHz	1000W	4-6英寸光罩	厚層殘膠預(yù)剝離，大幅縮短工藝時長
600kHz	1000W	6英寸量產(chǎn)光罩	量產(chǎn)主流款，兼顧剝膠效率與線路保護
1MHz	1000W	6-8英寸高精度光罩	溝槽隱蔽殘膠精洗，無清洗死角
2MHz	600W	8英寸先進制程光罩	100nm以下超精細(xì)線路無損剝膠

全系列支持斜角出線、氮氣冷卻定制，最高適配80℃高溫藥液場景。

配套適配要點

搭配同系列MHM兆聲波發(fā)生器，支持10%-100%線性調(diào)功、實時自動調(diào)頻，50Ω標(biāo)準(zhǔn)接口可直接改造現(xiàn)有濕法槽，19英寸機柜緊湊安裝無需改動產(chǎn)線布局。

依托專的利的“蝴蝶技術(shù)"壓電陶瓷，該系列聲壓比同類產(chǎn)品高40%、效率高30%，光罩殘膠去除率可達(dá)99.9%，微結(jié)構(gòu)損傷率近乎為零。

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