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koenn伺服馬達驅動器 FlexPro/Micro-Z Nanomotion Inc. 的超聲波馬達可以顯著移動載物臺并以納米精度定位。 用于半導體設備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動。 這種超聲波馬達將稱為元件的突起壓在載物臺上并高速振動以移動載物臺。請試用與一般電動機不同的結構簡單的執行器。