P.R.A. PHV系列高壓電源：兼容Johnson-Rahbek與Coulomb型ESC的通用選擇

更新時間：2026-07-23

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在半導體制造、平板顯示等精密加工領域，靜電吸盤（ESC）是實現晶圓或基板穩定固定的核心部件。而為其提供穩定、安全高壓的電源，則是確保整個工藝過程順利進行的關鍵。P.R.A.公司推出的PHV系列靜電吸盤電源，憑借其廣泛的兼容性和卓的越的保護功能，成為應對這一挑戰的理想選擇。

廣泛的ESC類型兼容性

PHV系列電源最大的亮點之一是其出色的通用性。它被專門設計用于驅動兩種主流的靜電吸盤技術：

Johnson-Rahbek (J-R) 型 ESC
Coulomb 型 ESC

這意味著，無論您的設備采用哪種類型的靜電吸盤，PHV系列都能提供穩定可靠的電壓支持，簡化了設備選型和維護的復雜度。

核心優勢：工藝保護與效率提升

除了廣泛的兼容性，PHV系列還集成了多項專為精密工藝設計的功能，旨在保護您的產品并提升生產效率。

低儲能與電流限制：電源具備低儲能和內置電流限制功能，能有效防止因電壓浪涌或電弧放電對晶圓等精密工件造成損傷，為您的核心工藝保駕護航。
極性反轉與自動放電：內置的極性反轉功能可以有效中和吸盤上的殘余電荷，配合高壓關閉后的自動放電功能，顯著改善了晶圓的“去吸盤"（De-chucking）過程，提高了生產節拍和良率。
抗射頻干擾：設備內置了RF Block Filter（射頻阻斷濾波器），能夠有效過濾2MHz至13.56MHz頻段的射頻干擾。這確保了電源在等離子體等復雜電磁環境下依然能夠穩定工作，不受干擾。

豐富的型號選擇與靈活控制

PHV系列提供多種型號，以滿足不同電壓和電流的應用需求。

輸出類型：提供單極性（Uni-polar）、雙極性（By-polar）和雙極性中心抽頭（By-polar Center Tap）三種輸出類型。
電壓范圍：覆蓋從±1KV到±8KV的廣泛電壓范圍，功率為10W。
控制方式：支持本地控制（前面板開關和電位器）和遠程控制（外部接口），并提供線性的電壓和電流監控信號，方便集成到自動化系統中。

總而言之，P.R.A. PHV系列高壓電源不僅是一款兼容性強的通用解決方案，更是一款集工藝保護、效率提升和穩定運行于一體的高性能產品，是精密制造領域中靜電吸盤應用的可靠伙伴。

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